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J-GLOBAL ID：200902232680183325   Reference number：03A0256473

Spatio temporal Variation of the Density Distributions in Ar RF Plasmas Using the Monte Carlo Simulation/Legendre Polynomial Weighted Sampling Method.

モンテカルロシミュレーション/Legendre多項式重みづけサンプリング法を用いたArのRFプラズマにおける密度分布の空間的時間的変化

Author (4)： HORIE I (Hokkaido Inst. Technol., Sapporo, JPN) ,  SUZUKI T (Hokkaido Inst. Technol., Sapporo, JPN) ,  KITAMORI K (Hokkaido Inst. Technol., Sapporo, JPN) ,  MARUYAMA K (Hokkaido Inst. Technol., Sapporo, JPN)
Material： Japanese Journal of Applied Physics. Part 1. Regular Papers, Short Notes & Review Papers  (Japanese Journal of Applied Physics. Part 1. Regular Papers, Brief Communications & Review Papers)
Volume： 42  Issue： 3  Page： 1445-1451  Publication year： Mar. 15, 2003 
JST Material Number： G0520B  ISSN： 0021-4922  Document type： Article
Article type： 原著論文  Country of issue： Japan (JPN)  Language： ENGLISH (EN)

Thesaurus term： *plasma ,...

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JST classification (2)： Plasma in general  (BJ02010B) ,  Gas discharges  (BJ03020T)

Reference (11)：

• 1) F. Tochikubo, Z. L. Petrovic, S. Kakuta, N. Nakano and T. Makabe: Jpn. J. Appl. Phys. 33 (1994) 4271.
• 2) Y. P. Raizer and M. N. Shneider: IEEE Trans. Plasma Sci. 27 (1999) 701.
• 3) M. Goto, Y. Kondoh and A. Matsuoka: Jpn. J. Appl. Phys. 36 (1997) 4815.
• 4) K. Satoh, T. Honma, H. Itoh and H. Tagashira: Trans. IEE Jpn. 120-A (2000) 147.
• 5) S. Longo and M. Capitelli: Jpn. J. Appl. Phys. 33 (1994) 4292.

Terms in the title (8)： モンテカルロシミュレーション ,  Legendre多項式 ,  重みづけ ,  サンプリング ,  Ar ,  RFプラズマ ,  密度分布 ,  時間的変化