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J-GLOBAL ID：200902233139412571   Reference number：09A0713531

Evaluation Method of the Quality Factor of Micromechanical Resonators Using Electron Beams

マイクロ機械共振器のQ値の評価方法

Author (3)： ASHIBA Hiroki (Univ. Tokyo, Tokyo, JPN) ,  WARISAWA Shin'ichi (Univ. Tokyo, Tokyo, JPN) ,  ISHIHARA Sunao (Univ. Tokyo, Tokyo, JPN)
Material： Japanese Journal of Applied Physics  (JJAP)
Volume： 48  Issue： 6,Issue 2  Page： 06FG08.1-06FG08.5  Publication year： Jun. 25, 2009 
JST Material Number： G0520B  ISSN： 0021-4922  CODEN： JJAPB6  Document type： Article
Article type： 原著論文  Country of issue： United Kingdom (GBR)  Language： ENGLISH (EN)

Thesaurus term： MEMS ,  *Q-value ,  *resonator ,  electron beam ,  secondary electron emission ,  strength ,  amplitude ,  *cantilever beam ,  scanning electron microscope
Semi thesaurus term： *microcantilever ,  機械共振器

JST classification (1)： Vibrations in general  (BB02010D)

Reference (14)：

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• V. Cimalla, F. Niebelschütz, K. Tonisch, Ch. Foerster, K. Brueckner, I. Cimalla, T. Friedrich, J. Pezoldt, R. Stephan, M. Hein, and O. Ambacher: Sens. Actuators B 126(2007)24.
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• Y. T. Yang, C. Callegari, X. L. Feng, K. L. Ekinci, and M. L. Roukes: Nano Lett.6(2006)583.
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Terms in the title (4)： マイクロ ,  機械共振器 ,  Q値 ,  評価方法