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J-GLOBAL ID：200902234457937442   Reference number：09A0812739

Ge/GeO₂ Interface Control with High-Pressure Oxidation for Improving Electrical Characteristics

電気特性を改善するための高圧酸化によるGe/GeO₂界面制御

Author (11)： LEE Choong Hyun (Univ. Tokyo, Tokyo, JPN) ,  TABATA Toshiyuki (Univ. Tokyo, Tokyo, JPN) ,  TABATA Toshiyuki (JST-CREST, Tokyo, JPN) ,  NISHIMURA Tomonori (Univ. Tokyo, Tokyo, JPN) ,  NISHIMURA Tomonori (JST-CREST, Tokyo, JPN) ,  NAGASHIO Kosuke (Univ. Tokyo, Tokyo, JPN) ,  NAGASHIO Kosuke (JST-CREST, Tokyo, JPN) ,  KITA Koji (Univ. Tokyo, Tokyo, JPN) ,  KITA Koji (JST-CREST, Tokyo, JPN) ,  TORIUMI Akira (Univ. Tokyo, Tokyo, JPN) ,  TORIUMI Akira (JST-CREST, Tokyo, JPN)
Material： Applied Physics Express  (APEX)
Volume： 2  Issue： 7  Page： 071404.1-071404.3  Publication year： Jul. 25, 2009 
JST Material Number： F0599C  ISSN： 1882-0778  CODEN： APEPC4  Document type： Article
Article type： 短報  Country of issue： United Kingdom (GBR)  Language： ENGLISH (EN)

Thesaurus term： *capacitance-voltage characteristic ,  *condenser (capacitor) ,  *oxidation ,  state density ,  electrical property ,  thermal oxidation ,  refractive index ,  Germanium ,  germanium oxide ,  control ,  interface (surface)
Semi thesaurus term： *高圧酸化 ,  界面制御

JST classification (1)： LCR parts  (NA05030D)

Reference (15)：

• KUZUM, D. IEDM Tech. Dig., 2007. 2007, 709
• TAKAHASHI, T. IEDM Tech. Dig., 2007. 2007, 697
• YAMAMOTO, T. IEDM Tech. Dig., 2007. 2007, 1041
• KITA, K. Appl. Surf. Sci. 2008, 254, 6100
• WU, N. Appl. Phys. Lett. 2004, 84, 3741

Terms in the title (6)： 電気特性 ,  高圧 ,  酸化 ,  Ge ,  GeO2 ,  界面制御