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J-GLOBAL ID：200902235348356568   Reference number：05A0670895

Laser Scattering Measurement of Microdefects on Silicon Oxide Water

シリコン酸化物ウエハ上の微小欠陥のレーザ散乱測定

Author (4)： HA T. (Osaka Univ., Osaka, JPN) ,  MIYOSHI T. (Osaka Univ., Osaka, JPN) ,  TAKAYA Y. (Osaka Univ., Osaka, JPN) ,  TAKAHASHI S. (Osaka Univ., Osaka, JPN)
Material： Key Engineering Materials  (Key Eng Mater)
Volume： 295/296  Page： 3-8  Publication year： 2005 
JST Material Number： D0744C  ISSN： 1013-9826  Document type： Article
Article type： 原著論文  Country of issue： Switzerland (CHE)  Language： ENGLISH (EN)

Thesaurus term： silicon oxide ,...

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JST classification (1)： Measurement,testing and reliability of solid-state devices  (NC03040G)

Terms in the title (6)： シリコン酸化物 ,  ウエハ ,  微小 ,  欠陥 ,  レーザ ,  散乱測定