Art

J-GLOBAL ID：200902235794632277   Reference number：09A1163839

Nano-Indentation Characteristics of Surface Layer with Fine Conical Protrusions Formed by Sputter Etching of W-Cr Tool Steel

W-Cr工具鋼のスパッタエッチングによって形成した微細円錐状突起物層のナノインデンテーション特性

Author (4)： NAKASA KEIJIRO (広島大学大学院工学研究科) ,  CHO SEIREN (広島大学大学院工学研究科) ,  O EIKO (広島大学大学院工学研究科) ,  KATO MASAHIKO (広島大学大学院工学研究科)
Material： 日本金属学会誌  (Journal of the Japan Institute of Metals and Materials)
Volume： 73  Issue： 11  Page： 870-877 (J-STAGE)  Publication year： 2009 
JST Material Number： G0023A  ISSN： 0021-4876  CODEN： NIKGAV  Document type： Article
Article type： 原著論文  Country of issue： Japan (JPN)  Language： JAPANESE (JA)

Thesaurus term： *tool steel ,  high alloy steel ,  tungsten containing alloy ,  chromium containing alloy ,  *surface treatment ,  *ion etching ,  surface structure ,  projection portion ,  circular cone ,  *mechanical property ,  nanoindentation ,  curve ,  stress strain characteristic ,  dependence ,  displacement (transfer) ,  plastic deformation ,  scanning electron microscope ,  ion microscopy ,  tempering ,  surface morphology ,  load dependence ,  residual displacement ,  load - displacement curve ,  structure ,  *property ,  characteristic
Semi thesaurus term： sputter etching ,  projection ,  load deformation curve

JST classification (2)： Other surface treatment  (WC08070F) ,  Mechanical properties  (WB02030U)

Reference (21)：

• 1) M. Shikida: J. Surface Finishing Soc. Japan 59(2008) 84-87.
• 2) W. Chen and H. Ahmed: Appl. Phys. Lett. 63(1993) 1116-1118.
• 3) A. G. Nassiopoulos, S. Grigoropoulos and D. Papadimitriou: Appl. Phys. Lett. 69(1996) 2267-2269.
• 4) V. V. Poborchii, T. Tada and T. Kanayama: Appl. Phys. Lett. 75(1999) 3276-3278.
• 5) L. W. Rangelow and St. Biehl: J. Vac. Sci. Technol. B 19(2001) 916-919.

Terms in the title (8)： Cr ,  工具鋼 ,  スパッタエッチング ,  微細 ,  円錐 ,  突起 ,  物層 ,  ナノインデンテーション