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J-GLOBAL ID：200902236128464528   Reference number：05A0996461

Electrical Properties and Microstructures of Sol-Gel-Deposited Lead Zirconate Titanate Thin Films Crystallized by 28 GHz Microwave Irradiation

28GHzマイクロ波照射により結晶化したゾル-ゲル堆積のジルコン酸鉛チタンの電気的性質と微細構造

Author (5)： WANG Zhan Jie (Tohoku Univ., Sendai, JPN) ,  KOKAWA Hiroyuki (Tohoku Univ., Sendai, JPN) ,  TAKIZAWA Hirotsugu (Tohoku Univ., Sendai, JPN) ,  ICHIKI Masaaki (National Inst. of Advanced Industrial Sci. and Technol., Ibaraki, JPN) ,  MAEDA Ryutaro (National Inst. of Advanced Industrial Sci. and Technol., Ibaraki, JPN)
Material： Japanese Journal of Applied Physics. Part 1. Regular Papers, Short Notes & Review Papers  (Japanese Journal of Applied Physics. Part 1. Regular Papers, Brief Communications & Review Papers)
Volume： 44  Issue： 9B  Page： 6914-6917  Publication year： Sep. 30, 2005 
JST Material Number： G0520B  ISSN： 0021-4922  Document type： Article
Article type： 原著論文  Country of issue： Japan (JPN)  Language： ENGLISH (EN)

Thesaurus term： sol-gel process ,...
Semi thesaurus term： *PZT

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JST classification (1)： Oxide thin films  (BK14050P)

Reference (24)：

• 1) O. Auciello, J. F. Scott and R. Ramesh: Phys. Today 51 (1998) 22.
• 2) D. L. Polla and L. F. Francis: Mater. Res. Soc. Bull. 21 (1996) 59.
• 3) J. Chu, Z. Wang, R. Maeda, K. Kataoka, T. Itoh and T. Suga: J. Vac. Sci. & Technol. B <B>18</B> (2000) 3604.
• 4) J. Tsaur, Z. J. Wang, L. Zhang, M. Ichiki, J. W. Wan and R. Maeda: Jpn. J. Appl. Phys. 41 (2002) 6664.
• 5) E. Cattan, G. Velu, B. Jaber, D. Remiens and B. Thierry: Appl. Phys. Lett. 70 (1997) 1718.

Terms in the title (8)： マイクロ波照射 ,  結晶化 ,  ゾル-ゲル ,  堆積 ,  ジルコン酸鉛 ,  チタン ,  電気的性質 ,  微細構造