Art

J-GLOBAL ID：200902238961510170   Reference number：06A0015942

Deposition of mechanically hard amorphous carbon nitride films from decomposition of BrCN. Effects of substrate cooling and pulsed rf-bias voltage

BrCNの分解による機械的に硬いアモルファス窒化炭素薄膜の析出

Author (3)： ITO H. (Dep. of Chemistry, Nagaoka Univ. of Technol., Kamitomioka 1603-1, Nagaoka 940-2188, JPN) ,  HORI K. (Dep. of Chemistry, Nagaoka Univ. of Technol., Kamitomioka 1603-1, Nagaoka 940-2188, JPN) ,  SAITOH H. (Dep. of Chemistry, Nagaoka Univ. of Technol., Kamitomioka 1603-1, Nagaoka 940-2188, JPN)
Material： Journal of Non-Crystalline Solids  (J Non-Cryst Solid)
Volume： 352  Issue： 1  Page： 1-7  Publication year： Jan. 01, 2006 
JST Material Number： D0642A  ISSN： 0022-3093  Document type： Article
Article type： 原著論文  Country of issue： Netherlands (NLD)  Language： ENGLISH (EN)

Thesaurus term： Cyanogen Bromide ,...

   To see more with JDream III (charged).   {{ this.onShowAbsJLink("http://jdream3.com/lp/jglobal/index.html?docNo=06A0015942&from=J-GLOBAL&jstjournalNo=D0642A") }}

JST classification (1)： Thin films of other inorganic compounds  (BK14060A)

Terms in the title (5)： 分解 ,  アモルファス ,  窒化 ,  炭素薄膜 ,  析出