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J-GLOBAL ID：200902239403521927   Reference number：04A0835636

In Situ Infrared Spectroscopic Study on a Titanium Source in MOCVD

MOCVDにおけるチタン源に関するin situ赤外分光研究

Author (4)： NAKAMURA T (Kyoto Univ., Kyoto, JPN) ,  NISHIMURA T (Kyoto Univ., Kyoto, JPN) ,  MOMOSE S (Kyoto Univ., Kyoto, JPN) ,  TACHIBANA K (Kyoto Univ., Kyoto, JPN)
Material： Journal of the Electrochemical Society  (J Electrochem Soc)
Volume： 151  Issue： 10  Page： C605-C609  Publication year： 2004 
JST Material Number： C0285A  ISSN： 1945-7111  CODEN： JESOAN  Document type： Article
Article type： 原著論文  Country of issue： United States (USA)  Language： ENGLISH (EN)

Thesaurus term： *MOCVD ,...

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JST classification (2)： Noncatalytic gas phase reactions  (CB06050Y) ,  4A and 5A groups  (CE01070U)

Substance index (4)： 2,2,6,6-Tetramethyl-3,5-heptanedione ,  2-Methyl-2,4-pentanediol ,  2-Propanol ,  t-Butyl alcohol

Terms in the title (4)： MOCVD ,  チタン ,  赤外分光 ,  研究