Art

J-GLOBAL ID：200902243174543889   Reference number：03A0722495

An approach to estimate the sputtering yield of water in glow-discharge electrolysis

グロー放電電解時の水のスパッタリング歩留りを算定する方法

Author (7)： MATSUSHIMA Y (Tokyo Univ. Agriculture and Technol., Tokyo, JPN) ,  TEZUKA A (Tokyo Univ. Agriculture and Technol., Tokyo, JPN) ,  SUMIDA K (Tokyo Univ. Agriculture and Technol., Tokyo, JPN) ,  MAEDA K (Tokyo Univ. Agriculture and Technol., Tokyo, JPN) ,  NOMA T (Tokyo Univ. Agriculture and Technol., Tokyo, JPN) ,  YAMAZAKI T (Tokyo Univ. Agriculture and Technol., Tokyo, JPN) ,  SUZUKI T (Tokyo Univ. Agriculture and Technol., Tokyo, JPN)
Material： Journal of Materials Science Letters  (J Mater Sci Lett)
Volume： 22  Issue： 18  Page： 1259-1260  Publication year： Sep. 15, 2003 
JST Material Number： D0919B  ISSN： 0261-8028  CODEN： JMTSAS  Document type： Article
Article type： 短報  Country of issue： United States (USA)  Language： ENGLISH (EN)

Thesaurus term： *glow discharge ,...

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JST classification (2)： Gas discharges  (BJ03020T) ,  Sputtering  (BK16110U)

Terms in the title (6)： グロー放電 ,  電解 ,  水 ,  スパッタリング ,  歩留り ,  算定