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J-GLOBAL ID：200902243671102306   Reference number：06A0576757

Application of a high-brightness electrodeless Z-pinch EUV source for metrology, inspection, and resist development.

高輝度の無電極Z-ピンチ型EUV光源の測定,検査およびレジストの現像への応用

Author (5)： HORNE Stephen F. (Energetiq Technol. Inc.) ,  BESEN Matthew M. (Energetiq Technol. Inc.) ,  SMITH Donald K. (Energetiq Technol. Inc.) ,  BLACKBOROW Paul A. (Energetiq Technol. Inc.) ,  D'AGOSTINO Robert (Energetiq Technol. Inc.)
Material： Proceedings of SPIE  (Proceedings. SPIE - The International Society for Optical Engineering)
Volume： 6151  Issue： Pt.1  Page： 61510P.1-61510P.10  Publication year： 2006 
JST Material Number： D0943A  ISSN： 0277-786X  CODEN： PSISDG  Document type： Proceedings
Article type： 原著論文  Country of issue： United States (USA)  Language： ENGLISH (EN)

Thesaurus term： Z pinch ,...

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JST classification (2)： Light sources  (BD07020D) ,  Manufacturing technology of solid-state devices  (NC03030V)

Terms in the title (7)： 高輝度 ,  無電極 ,  EUV光源 ,  検査 ,  レジスト ,  現像 ,  応用