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J-GLOBAL ID：200902244584637046   Reference number：08A0904176

Nature of dark-brown SnO₂ films prepared by a chemical vapor deposition method

化学蒸着法で調製した暗褐色のSnO₂膜の性質

Author (3)： MATSUSHIMA Yuta (Div. of Advanced Materials Sci. and Technol., Tokyo Univ. of Agriculture and Technol.) ,  MAEDA Kazuyuki (Div. of Advanced Materials Sci. and Technol., Tokyo Univ. of Agriculture and Technol.) ,  SUZUKI Takeyuki (Div. of Advanced Materials Sci. and Technol., Tokyo Univ. of Agriculture and Technol.)
Material： Journal of the Ceramic Society of Japan  (JCS-Japan)
Volume： 116  Issue： 1357  Page： 989-993 (J-STAGE)  Publication year： 2008 
JST Material Number： F0382A  ISSN： 1882-0743  CODEN： JCSJEW  Document type： Article
Article type： 原著論文  Country of issue： Japan (JPN)  Language： ENGLISH (EN)

Thesaurus term： *tin oxide ,  ceramic membrane ,  chemical vapor deposition ,  evaporated film ,  tin chloride ,  Oxygen ,  Color ,  void (crystal) ,  Chlorine ,  electrical conductivity

JST classification (2)： Manufacturing of ceramics and ceramic whiteware  (YC03020V) ,  Oxide thin films  (BK14050P)

Reference (31)：

• 1) J. L. Jacquemin and G. Bordure, J. Phys. Chem. Solids, 36, 1081-1087 (1975).
• 2) I. Tanaka, F. Oba, K. Tatsumi, M. Kunisu, M. Nakano and H. Adachi, Mater. Trans., 43, 1426-1429 (2002).
• 3) C. Kilic and A. Zunger, Phys. Rev. Lett., 88, 095501/1-4 (2002).
• 4) S. Samson and C. G. Fonstad, J. Appl. Phys., 44, 4618-4621 (1973).
• 5) E. Shanthi, A. Banerjee and K. L. Chopra, Thin Solid Films, 88, 93-100 (1982).

Terms in the title (4)： 化学蒸着法 ,  調製 ,  SnO2 ,  性質