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J-GLOBAL ID：200902248544452529   Reference number：09A0508904

Digital microscope observation of the initial stage of cutting monocrystalline silicon

単結晶シリコン切削初期段階のデジタル顕微鏡観察

Author (3)： INAMURA T. (Nagoya Inst. of Technol., Gokiso-cho, Showa-ku, Nagoya, JPN) ,  SHISHIKURA Y. (Nagoya Inst. of Technol., Gokiso-cho, Showa-ku, Nagoya, JPN) ,  TAKEZAWA N. (Nagoya Inst. of Technol., Gokiso-cho, Showa-ku, Nagoya, JPN)
Material： CIRP Annals. Manufacturing Technology  (Berichte der Internationale Akademie fuer Produktionstechnik)
Volume： 58  Issue： 1  Page： 69-72  Publication year： 2009 
JST Material Number： E0026A  ISSN： 0007-8506  Document type： Article
Article type： 原著論文  Country of issue： United Kingdom (GBR)  Language： ENGLISH (EN)

Thesaurus term： molecular dynamics ,  *micromachining ,  *silicon ,  *single crystal ,  *Microscopy ,  cutting (machining) ,  cutting edge ,  microcrack ,  *monocrystal silicon

JST classification (1)： Turning,boring  (QC02020G)

Terms in the title (5)： 単結晶シリコン ,  切削 ,  初期段階 ,  デジタル ,  顕微鏡観察