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J-GLOBAL ID：200902250121153619   Reference number：04A0504532

Measurement of Temperature in Sonoplasma

ソノプラズマの温度測定

Author (3)： MUKASA S (Ehime Univ., Ehime, JPN) ,  NOMURA S (Ehime Univ., Ehime, JPN) ,  TOYOTA H (Ehime Univ., Ehime, JPN)
Material： Japanese Journal of Applied Physics. Part 1. Regular Papers, Short Notes & Review Papers  (Japanese Journal of Applied Physics. Part 1. Regular Papers, Brief Communications & Review Papers)
Volume： 43  Issue： 5B  Page： 2833-2837  Publication year： May. 30, 2004 
JST Material Number： G0520B  ISSN： 0021-4922  Document type： Article
Article type： 原著論文  Country of issue： Japan (JPN)  Language： ENGLISH (EN)

Thesaurus term： *hydrocarbon ,...
Semi thesaurus term： ソノプラズマ

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JST classification (1)： Plasma production and heating  (BJ02060E)

Substance index (2)： Dodecane ,  Benzene

Reference (22)：

• 1) J. Robertson: Mater. Sci. Eng. R 37 (2002) 129.
• 2) M. Ban, M. Ryoji, T. Hasegawa, Y. Mori, S. Fujii and J. Fujioka: Diamond Rel. Mater. 11 (2002) 1353.
• 3) Z. Sun, X. Shi and E. Liu: Thin Solid Films 355–356 (1999) 146.
• 4) Y. Ueda, Y. Inoue, S. Shinohara and Y. Kawai: Vacuum 48 (1997) 119.
• 5) S. Shimada, M. Yoshimatsu, H. Nagai, M. Suzuki and H. Komaki: Thin Solid Films 370 (2000) 137.

Terms in the title (2)： プラズマ ,  温度測定