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J-GLOBAL ID：200902250202522198   Reference number：05A1021592

Improvement of Thickness Uniformity of Quartz Wafer by Numerically Controlled Plasma CVM-Correction of Thickness Variation of Quartz Wafer by Numerically Controlled Machining Utilizing Rotary Electrode-

数値制御プラズマCVMによる水晶ウエハの高精度加工に関する研究-円筒型回転電極を用いた数値制御加工による水晶ウエハ厚さの均一化-

Author (6)： SHIBAHARA MASAFUMI (兵庫県工技セ) ,  YAMAMURA KAZUYA (大阪大 大学院工学研究科 超精密科学研究セ) ,  SANO YASUHISA (大阪大 大学院工学研究科) ,  SUGIYAMA TSUYOSHI (大阪大 大学院工学研究科) ,  ENDO KATSUYOSHI (大阪大 大学院工学研究科 超精密科学研究セ) ,  MORI YUZO (大阪大 大学院工学研究科 超精密科学研究セ)
Material： 精密工学会誌  (Journal of the Japan Society for Precision Engineering)
Volume： 71  Issue： 5  Page： 655-659  Publication year： May. 05, 2005 
JST Material Number： F0268A  ISSN： 0912-0289  Document type： Article
Article type： 原著論文  Country of issue： Japan (JPN)  Language： JAPANESE (JA)

Thesaurus term： *plasma arc machining ,...
Semi thesaurus term： chemical vaporization machining ,...

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JST classification (1)： Special machining  (QC04000Y)

Reference (10)：

• 日本水晶デバイス工業会編. 水晶デバイスの解説と応用. 2002, 50
• 佐藤雄一. 光伝送用電圧制御水晶発振器の提案. 電気学会電子・情報システム部門大会講演論文集, 2001. 2001, 2, 215
• 岡野庄太郎. 水晶周波数制御デバイス. 2001, 25
• 佐藤佐千雄. 移動体通信用水晶素板の研磨技術. 砥粒加工学会誌. 1997, 41, 4, 127
• 森勇藏. プラズマCVMの開発. 精密工学会誌. 2000, 66, 8, 1280

Terms in the title (10)： 数値制御 ,  プラズマCVM ,  水晶 ,  ウエハ ,  高精度加工 ,  研究 ,  回転電極 ,  数値制御加工 ,  厚さ ,  均一化