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J-GLOBAL ID：200902253099999621   Reference number：08A1006871

超精密位置決めにおけるアンケート調査

Author (2)： OIWA TAKAAKI (静岡大 工) ,  KATSUKI MASAHIDE (東芝機械)
Material： 精密工学会誌(CD-ROM)  (精密工学会誌論文集)
Volume： 74  Issue： 10  Page： 1027-1032  Publication year： Oct. 05, 2008 
JST Material Number： F0268B  ISSN： 1348-8716  Document type： Article
Article type： 解説  Country of issue： Japan (JPN)  Language： JAPANESE (JA)

Thesaurus term： *positioning device ,  *positioning ,  *ultraprecision machining ,  *questionnaire ,  accuracy ,  linear motor ,  position sensor ,  technological trend
Semi thesaurus term： positioning accuracy

JST classification (1)： Machining in general  (QC01010O)

Reference (5)：

• 井澤實. 精密および超精密位置決め技術の現状. 精密工学会誌. 1991, 57, 10, 1707
• 清水茂夫. アンケート調査に見る超精密位置決め技術に関する現状と期待. 精密工学会誌. 1995, 61, 12, 1650
• 白石昌武. 超精密位置決めにおける文献とアンケート調査. 精密工学会誌. 1999, 65, 6, 799
• 大岩孝彰. 超精密位置決めにおけるアンケート調査. 精密工学会誌. 2003, 69, 8, 1077
• 精密工学会超精密位置決め専門委員会アンケート小委員会. 超精密位置決めアンケート報告書. 2007

Terms in the title (2)： 精密位置決め ,  アンケート調査