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J-GLOBAL ID：200902254818961956   Reference number：04A0504117

Micro Bubbles Captured at Micro Defect on Resist Film

レジストフィルム上の微小欠陥(Micro Defect)で捕捉されるマイクロバブル(Micro Bubbles)

Author (2)： ENDO H (Nagaoka Univ. Technol., Niigata, JPN) ,  KAWAI A (Nagaoka Univ. Technol., Niigata, JPN)
Material： Journal of Photopolymer Science and Technology  (フォトポリマー懇話会誌)
Volume： 17  Issue： 1  Page： 105-106  Publication year： 2004 
JST Material Number： L0202A  ISSN： 0914-9244  CODEN： JSTEEW  Document type： Article
Article type： 短報  Country of issue： Japan (JPN)  Language： ENGLISH (EN)

Thesaurus term： acrylic resin ,...

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JST classification (1)： Manufacturing technology of solid-state devices  (NC03030V)

Substance index (2)： Ethylene glycol ,  Diiodomethane

Reference (3)：

• 1. A. Kawai and H. Endo, Ext. Abstr. 51^th Spring Meet. Japan Society of Applied Physics and Related Societies, Tokyo, March, (2004) 777, No.29a-G-9.
• 2. F. M. Fowks, Ind. Eng. Chem., 56 (1964) 40.
• 3. D. H. Kaelble, J. Appl. Polym. Sci., 18 (1974) 1869.

Terms in the title (5)： レジストフィルム ,  微小 ,  欠陥 ,  捕捉 ,  マイクロバブル