Art

J-GLOBAL ID：200902260365587616   Reference number：06A0618960

Fabrication and performance of a flat piezoelectric cantilever obtained using a sol-gel derived PZT thick film deposited on a SOI wafer

SOIウエハ上にゾル-ゲル法で堆積したPZT厚膜による平坦な圧電片持梁の作製と性能

Author (4)： KOBAYASHI T (National Inst. of Advanced Industrial Sci. and Technol., Ibaraki, JPN) ,  TSAUR J (National Inst. of Advanced Industrial Sci. and Technol., Ibaraki, JPN) ,  ICHIKI M (National Inst. of Advanced Industrial Sci. and Technol., Ibaraki, JPN) ,  MAEDA R (National Inst. of Advanced Industrial Sci. and Technol., Ibaraki, JPN)
Material： Smart Materials and Structures  (Smart Mater Struct)
Volume： 15  Issue： 1  Page： S137-S140  Publication year： Feb. 2006 
JST Material Number： W0480A  ISSN： 0964-1726  CODEN： SMSTER  Document type： Article
Article type： 原著論文  Country of issue： United Kingdom (GBR)  Language： ENGLISH (EN)

Thesaurus term： ferroelectrics ,...
Semi thesaurus term： *PZT ,...

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JST classification (3)： Piezoelectricity,pyroelectricity,electret  (BM05040M) ,  Oxide thin films  (BK14050P) ,  Piezoelectric devices  (NC03110I)

Terms in the title (9)： SOI ,  ウエハ ,  ゾル-ゲル法 ,  堆積 ,  PZT ,  厚膜 ,  圧電 ,  片持梁 ,  作製