Art

J-GLOBAL ID：200902260738393523   Reference number：06A0512634

Study on the axial uniformity of surface wave-excited plasma column sustained along a metal rod

金属棒にそって維持された表面波励起プラズマ柱の軸方向均一性の研究

Author (2)： KOUSAKA Hiroyuki (Nagoya Univ., Nagoya city, JPN) ,  UMEHARA Noritsugu (Nagoya Univ., Nagoya city, JPN)
Material： Transactions of the Materials Research Society of Japan  (Trans Mater Res Soc Jpn)
Volume： 31  Issue： 2  Page： 487-490  Publication year： Jun. 2006 
JST Material Number： L4468A  ISSN： 1382-3469  Document type： Proceedings
Article type： 原著論文  Country of issue： Japan (JPN)  Language： ENGLISH (EN)

Thesaurus term： *microwave ,...
Semi thesaurus term： *plasma treatment ,...

   To see more with JDream III (charged).   {{ this.onShowAbsJLink("http://jdream3.com/lp/jglobal/index.html?docNo=06A0512634&from=J-GLOBAL&jstjournalNo=L4468A") }}

JST classification (1)： Plasma diagnostics  (BJ02090L)

Reference (4)：

• M. A. Lieberman and A. J. Lichtenberg: Principles of Plasma Discharges and Materials Processing (Wiley-Interscience, New York, 1994).
• A. Ander: Handbook of plasma immersion ion implantation and deposition (Wiley-Interscience, New York, 2000).
• H. Kousaka, N. umehara, K. Ono, and J. Xu: Jpn. J. Appl. Phys.44(2005) L1154.
• H. Kousaka, J. Xu, and N. Umehara: Jpn. J. Appl. Phys.44(2005) L1052.

Terms in the title (5)： 金属棒 ,  表面波励起 ,  プラズマ柱 ,  均一性 ,  研究