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J-GLOBAL ID：200902230881881206   Reference number：05A0921066

Generation of Long and High-Density Plasma Column Using Metal-Antenna Surface Wave-Excited Plasma Source

金属-アンテナ表面波励起のプラズマ源を用いる長い高密度プラズマ柱の発生

Author (3)： KOUSAKA Hiroyuki (Nagoya Univ., Nagoya, JPN) ,  XU Junqi (Xi’an Inst. Technol., Xi’an, CHN) ,  UMEHARA Noritsugu (Nagoya Univ., Nagoya, JPN)
Material： Japanese Journal of Applied Physics. Part 2. Letters  (Japanese Journal of Applied Physics. Part 2. Letters & Express Letters)
Volume： 44  Issue： 33-36  Page： L1052-L1055  Publication year： Sep. 10, 2005 
JST Material Number： F0599B  ISSN： 0021-4922  Document type： Article
Article type： 原著論文  Country of issue： Japan (JPN)  Language： ENGLISH (EN)

Thesaurus term： *microwave irradiation ,...
Semi thesaurus term： *graphite ,...

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JST classification (1)： Plasma production and heating  (BJ02060E)

Reference (11)：

• 1) Yu. M. Aliev, H. Schlüter and A. Shivarova: Guided-Wave-Produced Plasmas (Springer, Berlin, 2000).
• 2) K. Komachi and S. Kobayashi: J. Microwave Power Electromagn. Energy 24 (1989) 140.
• 3) M. Nagatsu, G. Xu, M. Yamage, M. Kanoh and H. Sugai: Jpn. J. Appl. Phys. 35 (1996) L341.
• 4) M. Tuda and K. Ono: J. Vac. Sci. Technol. A 16 (1998) 2832.
• 5) M. Tuda, K. Ono, H. Ootera, M. Tsuchihashi, M. Hanazaki and T. Komemura: J. Vac. Sci. Technol. A 18 (2000) 840.

Terms in the title (4)： アンテナ ,  表面波励起 ,  プラズマ源 ,  高密度プラズマ