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J-GLOBAL ID：200902261394780367   Reference number：05A0921098

Microwave-Excited High-Density Plasma Column Sustained along Metal Rod at Negative Voltage

負電圧で金属ロッドに沿って保持されたマイクロ波励起の高密度プラズマ柱

Author (4)： KOUSAKA Hiroyuki (Nagoya Univ., Nagoya, JPN) ,  UMEHARA Noritsugu (Nagoya Univ., Nagoya, JPN) ,  ONO Kouichi (Kyoto Univ., Kyoto, JPN) ,  XU Junqi (Xi’an Inst. Technol., Xi’an, CHN)
Material： Japanese Journal of Applied Physics. Part 2. Letters  (Japanese Journal of Applied Physics. Part 2. Letters & Express Letters)
Volume： 44  Issue： 33-36  Page： L1154-L1157  Publication year： Sep. 10, 2005 
JST Material Number： F0599B  ISSN： 0021-4922  Document type： Article
Article type： 原著論文  Country of issue： Japan (JPN)  Language： ENGLISH (EN)

Thesaurus term： *high frequency discharge ,...
Semi thesaurus term： graphite

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JST classification (1)： Plasma production and heating  (BJ02060E)

Reference (11)：

• 1) Yu. M. Aliev, H. Schlüter and A. Shivarova: Guided-Wave-Produced Plasmas (Springer, Berlin, 2000) p. 1.
• 2) K. Komachi and S. Kobayashi: J. Microwave Power Electromagn. Energy 24 (1989) 140.
• 3) M. Tuda, K. Ono, H. Ootera, M. Tsuchihashi, M. Hanazaki and T. Komemura: J. Vac. Sci. Technol. A 18 (2000) 840.
• 4) H. Kousaka and K. Ono: Jpn. J. Appl. Phys. 41 (2002) 2199.
• 5) H. Kousaka and K. Ono: Plasma Sources Sci. Technol. 12 (2003) 273.

Terms in the title (5)： 負電圧 ,  ロッド ,  マイクロ波 ,  励起 ,  高密度プラズマ