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J-GLOBAL ID：200902265647149648   Reference number：09A0139038

真空加熱処理によるTi添加DLC膜の密着力向上

Author (1)： KOZAKI MASAO (東海大 工)
Material： 東海大学紀要 工学部  (Proceedings of the School of Engineering of Tokai University)
Volume： 48  Issue： 1  Page： 137-142  Publication year： Sep. 30, 2008 
JST Material Number： G0655A  ISSN： 0563-6787  CODEN： TDKIB  Document type： Article
Article type： 原著論文  Country of issue： Japan (JPN)  Language： JAPANESE (JA)

Thesaurus term： *DLC film ,  additive effect ,  titanium ,  magnetron sputtering ,  sputtered deposition ,  heat treatment ,  *vacuum treatment ,  interface(surface) ,  surface structure ,  *adhesion property ,  exfoliation ,  strength ,  substrate temperature ,  abrasion resistance ,  nanoindentation ,  scratch test ,  transmission electron microscope ,  X-ray photoelectron spectroscopy ,  energy dispersive X-ray spectrometry ,  phase constitution ,  friction coefficient ,  microhardness
Semi thesaurus term： interfacial structure ,  interfacial debonding ,  peel strength

JST classification (2)： Thin films of other inorganic compounds  (BK14060A) ,  Carbon and its compounds  (YB02060D)

Reference (9)：

• 伊東, 薄膜材料入門,(1998), 132-137, 裳華社.
• 池永 勝, 池永 薫, 表面技術, Vol.51, No.11,(2002), 711-714.
• 鈴木, 池永, DLC成膜技術,(2003), 4-8, 日刊工業新聞社
• 榎本, 三宅, 薄膜トライボロジー,(1994), 103-107, 東京大学出版会.
• 斉藤, 三宅, 渡部, 表面技術, Vol.53, No.9,(2002), 606-611.

Terms in the title (4)： 真空加熱処理 ,  Ti ,  DLC膜 ,  密着