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J-GLOBAL ID：200902267513347411   Reference number：03A0748398

MEMSの現状と将来展望 パワーMEMS

Author (5)： KOBAYASHI TAKESHI (産業技術総合研) ,  ICHIKI MASAAKI (産業技術総合研) ,  SHAN X C (Singapore Inst. of Manufacturing Technol.-SIM Tech, Singapore) ,  OZAKI KOICHI (産業技術総合研) ,  MAEDA RYUTARO (産業技術総合研)
Material： 表面技術  (Journal of the Surface Finishing Society of Japan)
Volume： 54  Issue： 10  Page： 655-659  Publication year： Oct. 01, 2003 
JST Material Number： G0441B  ISSN： 0915-1869  CODEN： HYGIEX  Document type： Article
Article type： 解説  Country of issue： Japan (JPN)  Language： JAPANESE (JA)

Thesaurus term： micromachining ,...
Semi thesaurus term： crossover

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JST classification (3)： Energy conversion equipment  (LC01020U) ,  Fuel cells  (YB04040V) ,  Manufacturing technology of solid-state devices  (NC03030V)

Substance index (1)： Methanol

Reference (28)：

• 1) (財)機械システム振興協会 ; 次世代マイクロマシン技術応用システムの創出に関する調査報告書, 平成13年6月, p. 128 (2001)
• 2) 池田宏之助 ; 燃料電池のすべて, p. 24 (日本実業出版社, 2001)
• 3) 日経メカニカル, 587, 8, p. 26 (2003)
• 4) http://www.toshiba.co.jp/about/press/2003_03/pr_j0501.htm
• 5) J. P. Mayers and H. L. Maynard ; J. Power Sources, 109, 76 (2002)

Terms in the title (4)： MEMS ,  現状 ,  将来展望 ,  パワー