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J-GLOBAL ID：200902275464450476   Reference number：09A0157606

Laser-Anneal of Metal-based Micro Optical Scanner Derived by Aerosol Deposition

エアロゾルデポジションから得られた金属ベースのマイクロ光学スキャナーのレーザーアニール

Author (6)： BABA So (National Inst. of Advanced Industrial Sci. and Technol. (AIST), Ibaraki Pref., JPN) ,  PARK Jae-Hyuk (National Inst. of Advanced Industrial Sci. and Technol. (AIST), Ibaraki Pref., JPN) ,  SATO Harumichi (National Inst. of Advanced Industrial Sci. and Technol. (AIST), Ibaraki Pref., JPN) ,  NAKANO Shizuka (National Inst. of Advanced Industrial Sci. and Technol. (AIST), Ibaraki Pref., JPN) ,  ASHIDA Kiwamu (National Inst. of Advanced Industrial Sci. and Technol. (AIST), Ibaraki Pref., JPN) ,  AKEDO Jun (National Inst. of Advanced Industrial Sci. and Technol. (AIST), Ibaraki Pref., JPN)
Material： Key Engineering Materials  (Key Eng Mater)
Volume： 388  Page： 195-198  Publication year： 2009 
JST Material Number： D0744C  ISSN： 1013-9826  Document type： Article
Article type： 原著論文  Country of issue： Switzerland (CHE)  Language： ENGLISH (EN)

Thesaurus term： *lead zirconate titanate ,  *ceramic membrane ,  substrate (plate) ,  Stainless Steel ,  vapor deposition ,  aerosol (suspended solids) ,  thin film growth ,  actuator ,  piezoelectric material ,  *laser irradiation ,  annealing (heat treatment) ,  scanner ,  *optical scanning ,  angle ,  piezoelectric actuator
Semi thesaurus term： AD法 ,  *PZT ,  *anneal ,  *aerosol deposition method ,  *scanner ,  microdevice

JST classification (2)： Oxide thin films  (BK14050P) ,  Piezoelectric devices  (NC03110I)

Terms in the title (4)： エアロゾルデポジション ,  マイクロ ,  光学スキャナー ,  レーザーアニール