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J-GLOBAL ID：200902276162654818   Reference number：08A1201552

Electrical and Optical Properties of Ga-Doped ZnO Films Grown on Glass and Plastic Substrates by Using Plasma-Assisted Deposition

プラズマ支援堆積を用いてガラスおよび屈曲性基板上に成長させたGaドープZnO薄膜の電気的および光学的性質

Author (12)： MURANAKA T. (Univ. Yamanashi, Yamanashi, JPN) ,  NISII A. (Univ. Yamanashi, Yamanashi, JPN) ,  UEHARA T. (Univ. Yamanashi, Yamanashi, JPN) ,  SAKANO T. (Univ. Yamanashi, Yamanashi, JPN) ,  NABETANI Y. (Univ. Yamanashi, Yamanashi, JPN) ,  AKITSU T. (Univ. Yamanashi, Yamanashi, JPN) ,  KATO T. (Univ. Yamanashi, Yamanashi, JPN) ,  MATSUMOTO T. (Univ. Yamanashi, Yamanashi, JPN) ,  HAGIHARA S. (Yamanashi Industrial Technol. Center, Yamanashi, JPN) ,  ABE O. (Yamanashi Industrial Technol. Center, Yamanashi, JPN) ,  HIRAKI S. (Nakaya Corp., Yamanashi, JPN) ,  FUJIKAWA Y. (Nakaya Corp., Yamanashi, JPN)
Material： Journal of the Korean Physical Society
Volume： 53  Issue： 5 Pt.2  Page： 2947-2950  Publication year： Nov. 15, 2008 
JST Material Number： T0357A  ISSN： 0374-4884  Document type： Article
Article type： 原著論文  Country of issue： Korea, Republic of (KOR)  Language： ENGLISH (EN)

Thesaurus term： *plasma CVD ,  *zinc oxide ,  compound semiconductor ,  semiconductor thin film ,  *doping ,  Gallium ,  *Hall effect ,  *optical transmission ,  substrate (plate) ,  Glass ,  polyethylene terephthalate ,  polycarbonate ,  electrical resistivity ,  *carrier density ,  property ,  aromatic polyester
Semi thesaurus term： transparence

JST classification (2)： Electric conduction in crystalline semiconductors  (BM03043X) ,  Oxide thin films  (BK14050P)

Terms in the title (10)： プラズマ ,  支援 ,  堆積 ,  ガラス ,  屈曲性 ,  成長 ,  Ga ,  ドープ ,  ZnO薄膜 ,  光学的性質