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J-GLOBAL ID：200902277260047985   Reference number：06A0896385

Tip characterizer for atomic force microscopy

原子間力顕微鏡用のチップキャラクタライザー

Author (3)： ITOH Hiroshi (National Inst. of Advanced Industrial Sci. and Technol., AIST Tsukuba Central 2, 1-1 Umezono 1-Chome, Tsukuba-shi ...) ,  FUJIMOTO Toshiyuki (National Inst. of Advanced Industrial Sci. and Technol., AIST Tsukuba Central 2, 1-1 Umezono 1-Chome, Tsukuba-shi ...) ,  ICHIMURA Shingo (National Inst. of Advanced Industrial Sci. and Technol., AIST Tsukuba Central 2, 1-1 Umezono 1-Chome, Tsukuba-shi ...)
Material： Review of Scientific Instruments  (Rev Sci Instrum)
Volume： 77  Issue： 10  Page： 103704-103704-4  Publication year： Oct. 2006 
JST Material Number： D0517A  ISSN： 0034-6748  CODEN： RSINAK  Document type： Article
Article type： 原著論文  Country of issue： United States (USA)  Language： ENGLISH (EN)

Thesaurus term： *atomic force microscope ,...

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JST classification (2)： Manufacturing technology of solid-state devices  (NC03030V) ,  Microscopy determination of structures  (BK01040E)

Terms in the title (1)： 原子間力顕微鏡