Art
J-GLOBAL ID：200902279412204391   Reference number：06A0114092

Simplified theoretical plasma model about variations in plasma space potentials by negative DC bias in surface-wave excited plasmas

表面波プラズマにおける直流負バイアスによるプラズマ空間電位制御の簡易理論
Author (2)：
KIM Jaeho

About KIM Jaeho

(東大)

About 東大

, 
KATSURAI MAKOTO

About KATSURAI MAKOTO

(東大)

About 東大


Material：
電気学会プラズマ研究会資料  (電気学会研究会資料)

About 電気学会プラズマ研究会資料


Volume： PST-06  Issue： 1-18  Page： 81-85  Publication year： 2006 
JST Material Number： Z0951A  Document type： Proceedings
Article type： 原著論文  Country of issue： Japan (JPN)  Language： JAPANESE (JA)
Thesaurus term：
Thesaurus term/Semi thesaurus term
Keywords indexed to the article.
All keywords is available on JDreamIII(charged).
On J-GLOBAL, this item will be available after more than half a year after the record posted. In addtion, medical articles require to login to MyJ-GLOBAL.
*plasma CVD

About plasma CVD

,...
Semi thesaurus term：
Thesaurus term/Semi thesaurus term
Keywords indexed to the article.
All keywords is available on JDreamIII(charged).
On J-GLOBAL, this item will be available after more than half a year after the record posted. In addtion, medical articles require to login to MyJ-GLOBAL.
表面波プラズマ

About 表面波プラズマ

,...
   To see more with JDream III (charged).   {{ this.onShowAbsJLink("http://jdream3.com/lp/jglobal/index.html?docNo=06A0114092&from=J-GLOBAL&jstjournalNo=Z0951A") }}
JST classification (1)：
JST classification
Category name(code) classified by JST.
Applications of plasma 
(BJ02110K)

About Applications of plasma

Terms in the title (6)：
Terms in the title
Keywords automatically extracted from the title.
表面波プラズマ

About 表面波プラズマ

, 
直流

About 直流

, 
プラズマ

About プラズマ

, 
電位制御

About 電位制御

, 
簡易

About 簡易

, 
理論

About 理論


Return to Previous Page

TOP

BOTTOM