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J-GLOBAL ID：200902281146959637   Reference number：09A0296818

Particle-in-cell Monte Carlo Analysis of Anomalous Target Erosion in Magnetron Sputtering

マグネトロンスパッタリングにおけるターゲットの異常エロージョンについてのモンテカルロ粒子シミュレーション解析

Author (3)： SIEMERS M. (Fraunhofer Inst. Surface Engineering and Thin Films(IST), Braunschweig, DEU) ,  PFLUG A. (Fraunhofer Inst. Surface Engineering and Thin Films(IST), Braunschweig, DEU) ,  SZYSZKA B. (Fraunhofer Inst. Surface Engineering and Thin Films(IST), Braunschweig, DEU)
Material： Proceedings of the Annual Technical Conference. Society of Vacuum Coaters  (Annual Technical Conference Proceedings. Society of Vacuum Coaters)
Volume： 51st  Page： 43-48  Publication year： 2008 
JST Material Number： E0063B  ISSN： 0737-5921  Document type： Proceedings
Article type： 短報  Country of issue： United States (USA)  Language： ENGLISH (EN)

Thesaurus term： *magnetron sputtering ,  *target ,  *erosion corrosion ,  Monte Carlo method ,  computer simulation ,  *plasma simulation ,  parallel arithmetic ,  *plasma density ,  magnetic field configuration ,  *plasma interaction
Semi thesaurus term： *erosion

JST classification (2)： Techniques and equipment of thin film deposition  (BK14020I) ,  Solid-plasma interactions  (BJ02033W)

Terms in the title (6)： マグネトロンスパッタリング ,  ターゲット ,  エロージョン ,  モンテカルロ ,  粒子シミュレーション ,  解析