Art

J-GLOBAL ID：200902281652181032   Reference number：09A0789614

Fabrication of Lead-Free Ferroelectric Microstructures by Electron-Beam-Induced Patterning Process

電子ビーム誘起パターン形成工程による無鉛強誘電マイクロ構造の製作

Author (3)： FUJII Tadashi (Toyama Prefectural Univ., Toyama, JPN) ,  HIRABAYASHI Sugure (Toyama Prefectural Univ., Toyama, JPN) ,  ADACHI Masatoshi (Toyama Prefectural Univ., Toyama, JPN)
Material： Ferroelectrics
Volume： 383  Page： 756-760,867-868  Publication year： Jun. 2009 
JST Material Number： D0777A  ISSN： 0015-0193  CODEN： FEROA8  Document type： Article
Article type： 原著論文  Country of issue： United States (USA)  Language： ENGLISH (EN)

Thesaurus term： electron beam ,  *pattern formation ,  ferroelectricity ,  *barium titanate ,  scanning electron microscope ,  characterization ,  optical microscope ,  atomic force microscope ,  *electron beam lithography ,  force microscope ,  micro structure ,  *titanate ,  *bismuth compound ,  dielectric thin film
Semi thesaurus term： *bismuth titanate ,  piezoelectric force microscope ,  Lead-free material

JST classification (2)： Manufacturing technology of solid-state devices  (NC03030V) ,  Oxide thin films  (BK14050P)

Terms in the title (5)： 電子ビーム ,  誘起 ,  形成工程 ,  マイクロ構造 ,  製作