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J-GLOBAL ID：200902281897535123   Reference number：04A0757504

Ni Cantilever Fabrication by Transfer Process without Sacrificial Layer

犠牲層の無い転写プロセスによるNiカンチレバーの作製

Author (3)： KAWATA H (Osaka Prefecture Univ., Osaka, JPN) ,  YASUDA M (Osaka Prefecture Univ., Osaka, JPN) ,  HIRAI Y (Osaka Prefecture Univ., Osaka, JPN)
Material： Sensors and Materials  (Sens Mater)
Volume： 16  Issue： 4  Page： 211-222  Publication year： 2004 
JST Material Number： L0338A  ISSN： 0914-4935  CODEN： SENMER  Document type： Article
Article type： 原著論文  Country of issue： Japan (JPN)  Language： ENGLISH (EN)

Thesaurus term： *Nickel ,...

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JST classification (2)： Analytical instruments  (CC02020S) ,  Manufacturing technology of solid-state devices  (NC03030V)

Terms in the title (5)： 犠牲層 ,  転写プロセス ,  Ni ,  カンチレバー ,  作製