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J-GLOBAL ID：200902283076511555   Reference number：04A0206140

Formation of Carbon Nano-flakes by RF Magnetron Sputtering Method

スパッタリング法によるカーボンナノフレークの形成

Author (5)： ZHANG H (Xian Jiaotong Univ., Xian) ,  YOSHIMURA ISAO (金沢工大 高度材料科学研開セ) ,  KUSANO EIJI (金沢工大 高度材料科学研開セ) ,  KOGURE TOSHIHIRO (東大 大学院) ,  KIMBARA AKIRA (金沢工大 高度材料科学研開セ)
Material： 真空  (Journal of the Vacuum Society of Japan)
Volume： 47  Issue： 2  Page： 82-86  Publication year： Feb. 20, 2004 
JST Material Number： G0194A  ISSN： 0559-8516  CODEN： SHINA  Document type： Article
Article type： 短報  Country of issue： Japan (JPN)  Language： JAPANESE (JA)

Thesaurus term： *Carbon ,...
Semi thesaurus term： graphite ,...

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JST classification (1)： Thin films of other inorganic compounds  (BK14060A)

Substance index (1)： Methane

Reference (7)：

• IIJIMA, S. Nature. 1991, 354, 56
• CAUGHMAN, J. B. O. Abstract, 37^<th> IUVSTA Workshop on Plasma Deposition of Advanced Materials (Sept. 16, 2003, Rolduc, The Netherlands. 2003
• HWANG, J. Y. Synthetic Metals. 2002, 126, 81
• HIRAMATSU, M. Abstract, 37^<th> IUVSTA Workshop on Plasma Deposition of Advanced Materials (Sept. 16, 2003, Rolduc, The Netherlands). 2003
• ANDO, Y. Carbon. 1997, 35, 153

Terms in the title (3)： スパッタリング法 ,  カーボン ,  ナノフレーク