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J-GLOBAL ID：200902284803764662   Reference number：05A0945720

Real-Time Monitoring of Processed Hole Depth under Femtosecond Laser Processing

フェムト秒レーザー加工における加工穴深度のリアルタイムモニタリング

Author (4)： KAMIYA MASAYOSHI (光科学技術研究振興財団) ,  KAMIYA MASAYOSHI (静岡県浜松工技セ) ,  AOSHIMA SHIN'ICHIRO (光科学技術研究振興財団) ,  AOSHIMA SHIN'ICHIRO (浜松ホトニクス)
Material： レーザー研究  (レーザー学会誌)
Volume： 33  Issue： 10  Page： 685-689  Publication year： Oct. 15, 2005 
JST Material Number： X0335A  ISSN： 0387-0200  Document type： Article
Article type： 原著論文  Country of issue： Japan (JPN)  Language： JAPANESE (JA)

Thesaurus term： *monitor ,...

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JST classification (2)： Special machining  (QC04000Y) ,  Interferometry and interferometers  (BD07070G)

Reference (8)：

• 熊谷寛. 応用物理. 1998, 67, 1051
• FURUSAWA, K. J. Appl. Phys. 2000, 87, 1604
• OSTENDORF, A. Rev. Laser Eng. 2002, 30, 221
• 丹野直弘. 光学. 1999, 28, 116
• FUJIMOTO, J. G. Rev. Laser Eng. 2003, 31, 635

Terms in the title (4)： フェムト秒レーザー加工 ,  加工穴 ,  深度 ,  リアルタイムモニタリング