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J-GLOBAL ID：200902286812246170   Reference number：07A0123539

Introduction of a Die-to-Database Verification Tool for Mask Geometry NGR4000

マスク形状のためのダイ対データベース検証ツールNGR4000の紹介

Author (9)： HOFFMAN Michael J. (NanoGeometry Res. Inc., Tokyo, JPN) ,  KITAMURA Tadashi (NanoGeometry Res. Inc., Tokyo, JPN) ,  KUBOTA Kazufumi (NanoGeometry Res. Inc., Tokyo, JPN) ,  HASEBE Toshiaki (NanoGeometry Res. Inc., Tokyo, JPN) ,  NAKAZAWA Shinichi (NanoGeometry Res. Inc., Tokyo, JPN) ,  TOKUMOTO Toshifumi (NanoGeometry Res. Inc., Tokyo, JPN) ,  TSUNEOKA Masatoshi (NanoGeometry Res. Inc., Tokyo, JPN) ,  YAMAMOTO Masahiro (NanoGeometry Res. Inc., Tokyo, JPN) ,  INOUE Masahiro (Topcon Corp., Tokyo, JPN)
Material： Proceedings of SPIE  (Proceedings. SPIE - The International Society for Optical Engineering)
Volume： 6349  Issue： Pt.2  Page： 634940.1-634940.6  Publication year： 2006 
JST Material Number： D0943A  ISSN： 0277-786X  CODEN： PSISDG  Document type： Proceedings
Article type： 短報  Country of issue： United States (USA)  Language： ENGLISH (EN)

Thesaurus term： *photomask ,...

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JST classification (2)： Manufacturing technology of solid-state devices  (NC03030V) ,  CAD,CAM  (JE10000A)

Terms in the title (5)： マスク ,  ダイ ,  データベース ,  検証 ,  ツール