Art

J-GLOBAL ID：200902288271924068   Reference number：03A0459699

Microwear Properties of Silicon Single Crystal and the Wear Structure

シリコン単結晶のマイクロ摩耗特性と摩耗組織

Author (6)： ARIMA NORIKAZU (愛知工大 大学院) ,  TAKAGI MAKOTO (愛知工大 工) ,  IWATA HIROYUKI (愛知工大 総技研) ,  IMURA TOORU (愛知工大 工) ,  SASAKI KATSUHIRO (名古屋大 大学院工学研究科) ,  SAKA HIROYASU (名古屋大 大学院工学研究科)
Material： 日本金属学会誌  (Journal of the Japan Institute of Metals and Materials)
Volume： 67  Issue： 6  Page： 269-273  Publication year： Jun. 20, 2003 
JST Material Number： G0023A  ISSN： 0021-4876  CODEN： NIKGAV  Document type： Article
Article type： 原著論文  Country of issue： Japan (JPN)  Language： JAPANESE (JA)

Thesaurus term： *silicon ,...

   To see more with JDream III (charged).   {{ this.onShowAbsJLink("http://jdream3.com/lp/jglobal/index.html?docNo=03A0459699&from=J-GLOBAL&jstjournalNo=G0023A") }}

JST classification (1)： Mechanical properties of solids in general  (BL01021C)

Reference (10)：

• KANEKO, R. J. Vac. Sci. Technol. 1988, A6, 2, 363-367
• MIYAMOTO, T. J. Vac. Sci. Technol. 1991, B9, 1336-1339
• BHUSHAN, B. ASME J. Tribology. 1994, 116, 389-396
• LI, X. Thin Solid Films. 1999, 340, 210-217
• WEICK, B. Fundamentals of Tribology and Bridging the Gap between the Macro- and Micro/Nanoscales. 2001, 279-297

Terms in the title (5)： シリコン単結晶 ,  マイクロ ,  摩耗特性 ,  摩耗 ,  組織