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J-GLOBAL ID：200902289468018014   Reference number：09A0187982

Defect Classification Using Random Feature Selection and Bagging

ランダムな特徴選択とバギングを利用した欠陥分類

Author (5)： KONDO KAZUKI (東京農工大) ,  KIKUCHI KEI (東京農工大) ,  HOTTA SEIJI (東京農工大) ,  SHIBUYA HISAE (日立 生産技研) ,  MAEDA SHUNJI (日立 生産技研)
Material： 画像電子学会誌  (Journal of the IIEEJ)
Volume： 38  Issue： 1  Page： 9-15  Publication year： Jan. 25, 2009 
JST Material Number： S0815A  ISSN： 0285-9831  Document type： Article
Article type： 原著論文  Country of issue： Japan (JPN)  Language： JAPANESE (JA)

Thesaurus term： *wafer ,  *flaw inspection ,  *feature extraction ,  *pattern classification ,  vector (mathematics) ,  dimension ,  data analysis ,  scanning electron microscope ,  electron microscopy ,  *visual inspection ,  feature vector
Semi thesaurus term： image inspection ,  dimensionality ,  bagging ,  SEM (microscope)

JST classification (1)： Measurement,testing and reliability of solid-state devices  (NC03040G)

Reference (14)：

• http://www.itrs.net/
• 渋谷久恵. 決定木を利用した欠陥分類ルールの自動生成技術. 画像電学誌. 2007, 35, 5, 731-737
• BREIMAN, L. Baggging predictors. Machine Learning. 1996, 24, 123-140
• 秋山伸幸. 差画像検出方式異物検査装置の開発. 精密工学会. 1991, 57, 11, 65-70
• HAMAMATSU, A. Statistical threshold method for semiconductor inspection. Proc. of 12th Asia-Pacific Conf. on Non-Destructive Testing 2006. 2006

Terms in the title (3)： 特徴選択 ,  バギング ,  欠陥分類