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J-GLOBAL ID：200902070195496595   Reference number：92A0006324

Development of Particle Detection System using Subtracted Image Signal.

差画像検出方式異物検査装置の開発

Author (9)： AKIYAMA NOBUYUKI (日立 生産技研) ,  NAKATA TOSHIHIKO (日立 生産技研) ,  MAKIHIRA HIROSHI (日立 生産技研) ,  DOI HIDEAKI (日立 生産技研) ,  MIZUNO FUMIO (日立 デバイス開セ) ,  IKOTA MASAMI (日立 デバイス開セ) ,  HOSOE TAKURO (日立電子エンジニアリング) ,  CHIKAMATSU SHUICHI (日立電子エンジニアリング) ,  ABE SHIGERU (日立電子エンジニアリング)
Material： 精密工学会誌  (Journal of the Japan Society for Precision Engineering)
Volume： 57  Issue： 11  Page： 1955-1960  Publication year： Nov. 1991 
JST Material Number： F0268A  ISSN： 0912-0289  Document type： Article
Article type： 原著論文  Country of issue： Japan (JPN)  Language： JAPANESE (JA)

Thesaurus term： driving mechanism ,...
Semi thesaurus term： チップ【IC】

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JST classification (1)： Manufacturing technology of solid-state devices  (NC03030V)

Reference (8)：

• 1) 秋山伸幸 : 半導体用異物検査技術, 精密工学会誌, 55, 2 (1989) 294.
• 2) 秋山伸幸ほか : 偏光レーザによるパターン付試料上の異物検査の自動化, 計測自動制御学会論文集, 17, 2 (1981) 237.
• 3) 小泉光義, 秋山伸幸 : LSIウエハパターンからの反射光の解析, 計測自動制御学会論文集, 21, 8 (1985) 856.
• 4) 小泉光義, 秋山伸幸 : LSIパターンからの反射光の偏光特性を利用した異物検出法の開発, 計測自動制御学会論文集, 25, 9 (1989) 954.
• 5) 中田俊彦, 秋山伸幸 : 2チップ比較を用いたパターン付ウエハ異物検出技術, 1989年度精密工学会春季大会学術講演会講演論文集, D49, (1989) 545.

Terms in the title (3)： 画像検出 ,  異物検査装置 ,  開発