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J-GLOBAL ID：200902292610916409   Reference number：08A1175869

Estimations of Debris Generation from Laser-Produced EUV Sources Using Tin Targets

錫ターゲットを用いたレーザー生成極端紫外光源におけるデブリ発生の評価

Author (1)： FURUKAWA HIROYUKI (レーザー技術総合研)
Material： レーザー研究  (レーザー学会誌)
Volume： 36  Issue： 11  Page： 742-746  Publication year： Nov. 15, 2008 
JST Material Number： X0335A  ISSN： 0387-0200  Document type： Article
Article type： 原著論文  Country of issue： Japan (JPN)  Language： JAPANESE (JA)

Thesaurus term： *ultraviolet source ,  *laser-produced plasma ,  pulsed laser irradiation ,  target ,  tin ,  clastic sediment ,  carbon dioxide laser ,  *photolithography ,  YAG laser ,  focusing (light) ,  reflecting mirror ,  number density ,  simulation ,  computer code ,  *EUV light source ,  *plasma
Semi thesaurus term： *EUV lithography ,  debris ,  *極端紫外光源

JST classification (3)： Manufacturing technology of solid-state devices  (NC03030V) ,  Light sources  (BD07020D) ,  Electromagnetic waves in plasma  (BJ02032F)

Reference (10)：

• 文部科学省リーディング・プロジェクト. 「極端紫外 (EUV) 光源開発等の先進半導体製造技術の実用化」平成15年度研究成果報告書. 2003
• 砂原. プラズマ核融合学会誌. 2007, 83, 920
• FURUKAWA, H. Proc. SPIE. 2004, 5448, 872
• ANISIMOV, S. I. Physics-Uspekhi. 2002, 45, 293
• LUK'YANCHUK, B. S. Proc. SPIE. 1999, 3618, 434

Terms in the title (6)： 錫 ,  ターゲット ,  レーザー ,  極端紫外光源 ,  デブリ ,  評価