Art

J-GLOBAL ID：200902295167584014   Reference number：08A0657896

Investigation on Bistability and Fabrication of Bistable Prestressed Curved Beam

双安定予備加圧湾曲梁の双安定性と作製の研究

Author (2)： PANE Ivransa Zuhdi (Kyushu Univ., Fukuoka, JPN) ,  ASANO Tanemasa (Kyushu Univ., Fukuoka, JPN)
Material： Japanese Journal of Applied Physics  (JJAP)
Volume： 47  Issue： 6 Issue 2  Page： 5291-5296  Publication year： Jun. 25, 2008 
JST Material Number： G0520B  ISSN： 0021-4922  CODEN： JJAPB6  Document type： Article
Article type： 原著論文  Country of issue： United Kingdom (GBR)  Language： ENGLISH (EN)

Thesaurus term： *bistability ,  *beam (structure) ,  principle ,  buckling (material phenomenon) ,  silicon ,  single crystal ,  application of static electricity ,  force ,  fine patterning ,  *MEMS ,  electrostatic force
Semi thesaurus term： Euler座屈 ,  minimum energy principle ,  electrostatic force ,  bistable ,  *湾曲梁

JST classification (1)： Manufacturing technology of solid-state devices  (NC03030V)

Reference (7)：

• J. Qiu, J. H. Lang, and A. H. Slocum: J. Microelectromech. Syst.13(2004)137.
• M. Vangbo and Y. Backlund: J. Micromech. Microeng.8(1998)29.
• M. Vangbo: Sens. Actuators A 69(1998)212.
• B. Haig: IEEE Trans. Electron Devices 37(1990)2230.
• M. T. A. Saif: J. Microelectromech. Syst.9(2000)157.

Terms in the title (6)： 双安定 ,  加圧 ,  曲梁 ,  双安定性 ,  作製 ,  研究