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J-GLOBAL ID：200902296677755421   Reference number：05A0995524

Synthesizing single-crystal diamond by repetition of high rate homoepitaxial growth by microwave plasma CVD

マイクロ波プラズマCVDによる高速度ホモエピタクシャル成長の反復による単結晶ダイヤモンド合成

Author (5)： MOKUNO Y. (Diamond Res. Center, National Inst. of Advanced Industrial Sci. and Technol. (AIST), 1-8-31 Midorigaoka, Ikeda ...) ,  CHAYAHARA A. (Diamond Res. Center, National Inst. of Advanced Industrial Sci. and Technol. (AIST), 1-8-31 Midorigaoka, Ikeda ...) ,  SODA Y. (Diamond Res. Center, National Inst. of Advanced Industrial Sci. and Technol. (AIST), 1-8-31 Midorigaoka, Ikeda ...) ,  HORINO Y. (Diamond Res. Center, National Inst. of Advanced Industrial Sci. and Technol. (AIST), 1-8-31 Midorigaoka, Ikeda ...) ,  FUJIMORI N. (Diamond Res. Center, National Inst. of Advanced Industrial Sci. and Technol. (AIST), 1-8-31 Midorigaoka, Ikeda ...)
Material： Diamond and Related Materials  (Diam Relat Mater)
Volume： 14  Issue： 11-12  Page： 1743-1746  Publication year： Nov. 2005 
JST Material Number： W0498A  ISSN： 0925-9635  Document type： Article
Article type： 原著論文  Country of issue： Netherlands (NLD)  Language： ENGLISH (EN)

Thesaurus term： *plasma CVD ,...

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JST classification (1)： Crystal growth of other inorganic compounds  (BK13060T)

Terms in the title (6)： マイクロ波プラズマCVD ,  高速度 ,  ホモ ,  エピタクシャル成長 ,  反復 ,  単結晶ダイヤモンド