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J-GLOBAL ID:200903000020167187
ガルバノミラー駆動装置
Inventor:
,
Applicant, Patent owner:
Agent (1):
永井 冬紀
Gazette classification:公開公報
Application number (International application number):1998265424
Publication number (International publication number):2000098271
Application date: Sep. 18, 1998
Publication date: Apr. 07, 2000
Summary:
【要約】【課題】周囲の環境温度の変化の影響を受けず、調整時間が短く、作業者の判断による誤差が生じない高精度のレーザビームの照射位置調整を可能にする。【解決手段】受光センサ9はレーザビーム4の照射位置を検出し、受光センサ9の出力に基づいて、ガルバノミラー5、6で反射されたレーザビーム4の照射位置が予め定めた所定の照射位置と一致しているか否かを判定する。一致していないと判定された場合には、レーザビーム4の照射位置を予め定めた所定の照射位置と一致させるために必要な補正量を算出し、算出された補正量に基づいてガルバノミラー5、6を駆動してレーザビーム4の照射位置を調整する。
Claim (excerpt):
ガルバノミラーによりレーザビームを走査するガルバノミラー駆動装置において、前記レーザビームの照射位置を検出する受光センサと、前記受光センサの出力に基づいて、前記ガルバノミラーで反射された前記レーザビームの照射位置が、予め定めた所定の照射位置と一致しているか否かを判定する判定手段と、前記判定手段が一致していないと判定した場合には、前記レーザビームの照射位置を前記所定の照射位置と一致させるために必要な補正量を算出する算出手段と、算出された前記補正量に基づいてガルバノミラーを駆動する駆動回路とを備えたことを特徴とするガルバノミラー駆動装置。
IPC (3):
G02B 26/08
, B23K 26/08
, G02B 26/10 104
FI (3):
G02B 26/08 E
, B23K 26/08 B
, G02B 26/10 104 Z
F-Term (11):
2H045AB54
, 2H045CA82
, 2H045CA97
, 2H045DA11
, 2H045DA31
, 4E068CA09
, 4E068CB05
, 4E068CB08
, 4E068CC01
, 4E068CD11
, 4E068CE02
Patent cited by the Patent:
Cited by examiner (8)
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光ビーム出射角度制御装置及び光ビーム出射位置制御装置
Gazette classification:公開公報
Application number:特願平8-184696
Applicant:日本電気株式会社
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特開平3-207591
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特開昭63-229419
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特開昭61-209424
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レーザビームスキャナ及びレーザ加工装置
Gazette classification:公開公報
Application number:特願平7-263010
Applicant:日本電気株式会社
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特開平3-207591
-
特開昭63-229419
-
特開昭61-209424
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