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J-GLOBAL ID：200903000093050997

微小領域観察装置

Inventor： 小田原 成計 ,  師岡 利光 ,  中山 哲 ,  茅根 一夫
Applicant, Patent owner： セイコーインスツルメンツ株式会社
Agent (1)： 林 敬之助
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1997262475
Publication number (International publication number)：1999101862
Application date： Sep. 26, 1997
Publication date： Apr. 13, 1999
Summary：

【要約】【課題】 第一のセンサーと被測定物を非接触で接近させることができ、かつ第一のセンサーの角度を一定に保つことができる微小領域観察装置の提供。【解決手段】 測定室に第一のセンサー11とマイクロカンチレバー81、スキャナー70、走査ステージ41、を設置する。走査ステージ41上に被測定物20を設置し、マイクロカンチレバー81にて被測定物20との間隔を検出し、スキャナー70で前記間隔が一定となるように距離制御し、第一のセンサー11が被測定物20を非接触に走査する。

Claim (excerpt)：

被測定物の物性を検出する第一のセンサーと、前記第一のセンサーと被測定物間の距離を変える移動機構を有する装置において、前記第一のセンサーと被測定物間の距離を検出する第二のセンサーを有することを特徴とする微小領域観察装置。

IPC (5)：

G01R 33/10 ,  G01B 21/30 ,  G01N 27/60 ,  G01N 27/87 ,  G01R 33/035 ZAA

FI (5)：

G01R 33/10 ,  G01B 21/30 Z ,  G01N 27/60 A ,  G01N 27/87 ,  G01R 33/035 ZAA

Patent cited by the Patent：

Cited by examiner (4)

• 走査型プローブ顕微鏡
  Gazette classification：公開公報   Application number：特願平7-328970   Applicant：オリンパス光学工業株式会社
• 微小磁場測定手段を用いた材料評価方法およびその装置
  Gazette classification：公開公報   Application number：特願平7-131746   Applicant：日本電信電話株式会社
• 走査型近視野原子間力顕微鏡
  Gazette classification：公開公報   Application number：特願平8-032396   Applicant：セイコー電子工業株式会社
• カンチレバーチップ
  Gazette classification：公開公報   Application number：特願平8-054799   Applicant：オリンパス光学工業株式会社