Pat
J-GLOBAL ID：200903009449957310

カンチレバーチップ

Inventor：
松山 克宏

About 松山 克宏


Applicant, Patent owner：
オリンパス光学工業株式会社

About オリンパス光学工業株式会社


Agent (1)： 鈴江 武彦
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1996054799
Publication number (International publication number)：1997243648
Application date： Mar. 12, 1996
Publication date： Sep. 19, 1997
Summary：
【要約】【課題】試料の表面形状に影響されること無く所望の測定箇所に対して探針先端を円滑且つ確実に走査させることが可能なカンチレバーチップを提供する。【解決手段】カンチレバーチップ2は、支持面4a及びこの支持面に対向した取付面4bを有する支持部4と、この支持部の支持面に支持されたカンチレバー6と、このカンチレバーの自由端に設けられた探針8とを備えており、試料の表面形状に影響されること無く所望の測定箇所に探針を走査させることができるように、支持部は、その支持面の幅寸法が取付面の幅寸法よりも縮小されている。支持面の幅寸法W1は、SPM装置にカンチレバーチップを取り付けるための取付面の幅寸法W2よりも縮小しており、これら支持面と取付面との間には、カンチレバーの長手軸に沿って形成された第1及び第2の傾斜面10,12が露出している。
Claim (excerpt)：
支持面及びこの支持面に対向した取付面を有する支持部と、この支持部の支持面に支持された片持ち梁と、この片持ち梁の自由端に設けられた探針とを備えており、試料の表面形状に影響されること無く所望の測定箇所に対して前記探針の先端を走査させることができるように、前記支持部は、その支持面の幅寸法が前記取付面の幅寸法よりも縮小されていることを特徴とするカンチレバーチップ。
IPC (2)：
G01N 37/00 ,  G01B 21/30
FI (3)：
G01N 37/00 C ,  G01N 37/00 G ,  G01B 21/30 Z
Patent cited by the Patent：
Cited by examiner (7)
Show all

Return to Previous Page

TOP

BOTTOM