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J-GLOBAL ID:200903000228809140
表面プラズモン共鳴を利用した測定装置
Inventor:
Applicant, Patent owner:
Agent (1):
杉村 暁秀 (外9名)
Gazette classification:公開公報
Application number (International application number):1997082528
Publication number (International publication number):1998281981
Application date: Apr. 01, 1997
Publication date: Oct. 23, 1998
Summary:
【要約】【課題】 一層優れた測定感度及び測定精度を有する表面プラズモン共鳴を利用した測定装置を提供する。【解決手段】 測定光を放出する光源としてレーザ光源(1)を用い、レーザ光をビーム偏向装置により所定の周波数で偏向する。偏向されたレーザ光を収束性レンズ(7)を用いてプリズム素子(8)に形成した金属薄膜(9)に入射させる。収束性レンズ(7)は、その前側焦点がビーム偏向装置の出射点と一致させその後側焦点が金属薄膜(9)と一致するように配置する。この結果、金属薄膜(9)には入射角が時間的に連続して変化するレーザ光が入射する。金属薄膜で全反射した光は、試料に応じて特定の入射角の位置で光吸収が発生する。この全反射した光ビームをリニアイメージセンサ(12)で受光する。リニアイメージセンサ(12)の各受光素子の配置位置は入射角に対応しているから、各受光素子に蓄積された電荷を読出すことによりリアルタイムでR-θ曲線を得ることができる。
Claim (excerpt):
レーザビームを放出するレーザ光源と、このレーザビームを偏向するビーム偏向装置と、表面プラズモン励起用の金属薄膜を支持する光学素子と、前記偏向されたレーザビームを前記光学素子の金属薄膜に入射角が連続して変化するように入射させる集束性レンズと、前記ビーム偏向装置のビーム偏向方向と対応する方向に沿って配列した複数の受光素子を有するリニアイメージセンサと、前記ビーム偏向装置の駆動を制御するビーム偏向装置駆動回路と、前記リニアイメージセンサの読出を制御するリニアイメージセンサ読出回路とを具えることを特徴とする表面プラズモン共鳴を利用した測定装置。
Patent cited by the Patent:
Cited by examiner (4)
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膜厚及び誘電率の測定装置及びその測定方法
Gazette classification:公開公報
Application number:特願平6-006494
Applicant:富士通株式会社
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表面プラズモン顕微鏡
Gazette classification:公開公報
Application number:特願平3-043639
Applicant:理化学研究所
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特開平1-138443
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レーザ顕微鏡
Gazette classification:公開公報
Application number:特願平6-072503
Applicant:ソニー株式会社
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