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J-GLOBAL ID:200903000232058434

圧電部品の製造方法及び圧電部品

Inventor:
Applicant, Patent owner:
Agent (1): 宮▼崎▲ 主税 (外1名)
Gazette classification:公開公報
Application number (International application number):1998180604
Publication number (International publication number):2000022475
Application date: Jun. 26, 1998
Publication date: Jan. 21, 2000
Summary:
【要約】【課題】 側面に切欠を有する基板を用いることなく、小型に構成することができ、接着部分の内部応力が小さいため接着界面における剥離が生じ難く、さらに製造プロセスの簡略化を図り得る圧電部品の製造方法を提供する。【解決手段】 一方面に複数の凹部1aが形成された第1の基板1の各凹部1aに圧電素子2を収納し、表面から裏面に至るように形成された複数の電極6a〜6cを有し、かつ個々の圧電部品の蓋材を構成するための複数の第2の基板5を用意し、第1の基板1の凹部1aを覆うように第2の基板5に形成された電極6a〜6cを圧電素子2に電気的に接続するようにして、第2の基板5を裏面5b側から第1の基板1に接着し、接着により構成された積層体の第1の基板1を個々の圧電部品単位に厚み方向に切断する。
Claim (excerpt):
一方面に複数の凹部が形成された第1の基板を用意する工程と、前記第1の基板の各凹部に圧電素子を収納する工程と、表面から裏面に至るように形成された複数の電極を有し、かつ個々の圧電部品の蓋材を構成するための複数の第2の基板を用意する工程と、前記第1の基板の凹部を覆うようにかつ第2の基板に形成された電極を圧電素子に電気的に接続するようにして、第2の基板を裏面側から第1の基板に接着する工程と、前記接着により構成された積層体中の第1の基板を個々の圧電部品単位に厚み方向に切断し、圧電部品を得る工程とを備えることを特徴とする、圧電部品の製造方法。
IPC (2):
H03H 3/02 ,  H03H 9/02
FI (2):
H03H 3/02 C ,  H03H 9/02 A
F-Term (12):
5J033BB04 ,  5J033CC04 ,  5J033DD02 ,  5J033EE03 ,  5J033EE07 ,  5J033EE17 ,  5J033FF14 ,  5J033GG03 ,  5J033GG08 ,  5J033GG16 ,  5J033GG18 ,  5J033KK04
Patent cited by the Patent:
Cited by examiner (9)
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