インクジェット式記録ヘッド、その製造方法および圧電体素子

Inventor：
Applicant, Patent owner：
Agent (1)：鈴木喜三郎 (外2名)
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1997076248
Publication number (International publication number)：1998264384
Application date： Mar. 27, 1997
Publication date： Oct. 06, 1998
Summary：

【要約】【課題】白金の還元作用による圧電特性の劣化が少ない圧電体素子の構造を提供し、もってインクジェット式記録ヘッドや圧電体素子に対する信頼性を高めることを目的。【解決手段】インクが充填される圧力室基板2の少なくとも一面に、1以上の圧電体素子4を備えた振動板3が設けられたインクジェット式記録ヘッドであって、圧電体素子4は、電圧を印加することにより体積変化を生ずる圧電体層41に、圧電体層の加水分解による還元作用を妨げる組成からなる電極膜42、43を積層して構成される。

Claim (excerpt)：

インクが充填される圧力室基板の少なくとも一面に、1以上の圧電体素子を備えた振動板が設けられたインクジェット式記録ヘッドであって、前記圧電体素子は、電圧を印加することにより体積変化を生ずる圧電体層に、当該圧電体層に混入した水分の還元作用を妨げる組成からなる電極膜を積層して構成されることを特徴とするインクジェット式記録ヘッド。

IPC (4)：

B41J 2/045 , B41J 2/055 , B41J 2/16 , H01L 41/09

FI (3)：

B41J 3/04 103 A , B41J 3/04 103 H , H01L 41/08 C

Patent cited by the Patent：

Cited by examiner (6)

薄膜圧電体素子およびそれを用いたインクジェット記録ヘッド
Gazette classification：公開公報 Application number：特願平7-169750 Applicant：セイコーエプソン株式会社
特開平2-219654
特開昭63-003505

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