共焦点光学系による変位計測装置

Inventor： , ,
Applicant, Patent owner：
Agent (1)：木村高久 (外1名)
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1997175981
Publication number (International publication number)：1999023219
Application date： Jul. 01, 1997
Publication date： Jan. 29, 1999
Summary：

【要約】【課題】変位を計測する際の計測範囲を広げる。変位計測精度を向上させる。【解決手段】共焦点光学系1の光源2とレンズ6との間に、光出射口5aの光軸方向Cにおける位置が調整自在の光ファイバ5を設け、この光ファイバ5によって、光源2からの光Lを案内し、該光Lを光出射口5aからレンズ6に導く。また、レンズ6の焦点が、少なくとも2つの計測対象物体表面11b、12aにおいてそれぞれ位置決めされる、筐体1aの移動区間(23a〜23b)が設定され、この移動区間(23a〜23b)を筐体1aが一方向に移動するように、筐体駆動手段17、18が制御される。

Claim (excerpt)：

レンズを光軸方向に沿って移動させることにより該レンズの焦点を計測対象物体表面に位置決めし、この計測対象物体表面からの反射光を光検出器で検出するようにした共焦点光学系と、前記光検出器の検出信号と前記レンズの移動位置を示すレンズ移動位置信号とに基づいて前記計測対象物体の前記光軸方向における変位を計測する変位計測装置とを具えた共焦点光学系による変位計測装置において、前記共焦点光学系の光源と前記レンズとの間に、前記光源からの光を案内し、該光を光出射口から前記レンズに導くとともに、前記光出射口の光軸方向における位置が調整自在の光ファイバ、を設けたことを特徴とする共焦点光学系による変位計測装置。

IPC (2)：

G01B 11/00 , G02B 7/32

FI (2)：

G01B 11/00 B , G02B 7/11 B

Patent cited by the Patent：

Cited by examiner (9)

変位検出装置
Gazette classification：公開公報 Application number：特願平7-223728 Applicant：ソニー・プレシジョン・テクノロジー株式会社
焦点合わせ装置
Gazette classification：公開公報 Application number：特願平3-194005 Applicant：ブラザー工業株式会社
共焦点型焦点位置検出装置
Gazette classification：公開公報 Application number：特願平4-083683 Applicant：ブラザー工業株式会社

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