塗布装置および塗布方法並びにカラーフィルタの製造装置および製造方法

Inventor： , ,
Applicant, Patent owner：
Agent (1)：長門侃二
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1996014538
Publication number (International publication number)：1997206652
Application date： Jan. 30, 1996
Publication date： Aug. 12, 1997
Summary：

【要約】【課題】スリットダイが異なっても、その吐出口とガラス基板との間に所望のクリアランスを正確に確保することができる塗布装置および塗布方法並びにこれら装置および方法を使用したカラーフィルタの製造装置および製造方法を提供する。【解決手段】カラーフィルタを製造するための塗布方法を実施する塗布装置は、スリットダイ40が取り付けられる昇降可能なダイホルダ32と、このダイホルダ32のレベル位置を検出するリニアスケール86と、スリットダイ40における吐出口68の両端とステージ6との間の離間距離を検出する一対の測定器76を備え、検出された離間距離とその時点でのリニアスケールの出力とに基づき、スリットダイ40の吐出口がステージ6上にあるときのダイホルダ32の参照レベルを求め、この参照レベルを基準点として吐出口68とガラス基板Aとの間に確保すべきクリアランスが設定される。

Claim (excerpt)：

塗布液を供給する供給手段と、前記供給手段からの塗布液の供給を受け、一方向に延びる吐出口から塗布液を吐出可能な塗布器と、被塗布部材が載置可能なステージと、前記塗布器を前記被塗布部材に近接させる近接手段と、前記近接手段による前記塗布器の移動を介して、前記ステージに載置された被塗布部材と前記塗布器の吐出口との間に所定のクリアランスを確保するクリアランス設定手段と、前記塗布器および前記ステージのうち少なくとも一方を相対的に移動させる移動手段とを具備する塗布装置において、前記クリアランス設定手段は、前記塗布器または該塗布器を保持するホルダの参照レベル位置を決定するセッティング手段と、前記参照レベルを基準点として前記被塗布部材の厚みおよび前記クリアランスに基づき、前記塗布器または前記ホルダの移動目標レベル位置を演算する演算手段と、前記移動目標レベル位置に前記塗布器または前記ホルダの実レベル位置を一致させるべく、前記近接手段の作動を制御する制御手段とを含むことを特徴とする塗布装置。

IPC (5)：

B05C 5/02 , B05D 1/26 , B05D 3/00 , G02B 5/20 , G03F 7/16 501

FI (5)：

B05C 5/02 , B05D 1/26 Z , B05D 3/00 D , G02B 5/20 , G03F 7/16 501

Patent cited by the Patent：

Cited by examiner (4)

板状部材への流体材料の塗布方法及びその装置
Gazette classification：公開公報 Application number：特願平6-078187 Applicant：ソニー株式会社
流体塗布装置
Gazette classification：公開公報 Application number：特願平5-177241 Applicant：平田機工株式会社, シプレイ・ファーイースト株式会社
処理液塗布装置
Gazette classification：公開公報 Application number：特願平6-126607 Applicant：大日本スクリーン製造株式会社

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