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J-GLOBAL ID：200903000666680419

マルチプローブ型走査プローブ顕微鏡装置およびそれを用いた試料表面評価方法

Inventor： 安尾 文利 ,  鮎川 あきつ ,  森 加代子 ,  岡▲崎▼ 裕子 ,  増田 亮一
Applicant, Patent owner： シャープ株式会社
Agent (1)： 青山 葆 (外1名)
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：2000332452
Publication number (International publication number)：2002139414
Application date： Oct. 31, 2000
Publication date： May. 17, 2002
Summary：

【要約】【課題】 複数種の走査プローブ顕微鏡像の測定を容易に行えて、測定作業に要する労力および時間を軽減できるマルチプローブ型走査プローブ顕微鏡装置およびそれを用いた試料表面評価方法を提供する。【解決手段】 駆動機構5は、第1,第2駆動部4,34を備えている。第1駆動部4が圧痕形成用プローブ2をXYZ方向に移動させ、第2駆動部34が測定用プローブ32をXYZ方向に移動させる。圧痕形成用プローブ2と測定用プローブ32とは第1,第2駆動部4,34により互いに独立に移動する。

Claim (excerpt)：

試料の表面に圧痕を形成する圧痕形成用プローブと、上記試料の表面を測定する測定用プローブとを備えたマルチプローブ型走査プローブ顕微鏡装置であって、上記圧痕形成用プローブと上記測定用プローブとを水平方向および高さ方向に互いに独立して移動させる移動制御手段を有することを特徴とするマルチプローブ型走査プローブ顕微鏡装置。

IPC (3)：

G01N 13/10 ,  G01B 21/30 ,  G01N 1/28

FI (4)：

G01N 13/10 B ,  G01N 13/10 F ,  G01B 21/30 ,  G01N 1/28 H

F-Term (9)：

2F069AA57 ,  2F069AA60 ,  2F069CC10 ,  2F069DD15 ,  2F069GG65 ,  2F069HH04 ,  2F069HH30 ,  2F069LL03 ,  2F069MM32

Patent cited by the Patent：

Cited by examiner (6)

• 特開昭64-053364
  
• 特開昭64-053364
  
• プローブ顕微鏡装置および探針間距離測定方法
  Gazette classification：公開公報   Application number：特願平5-283415   Applicant：日立建機株式会社
• 半導体基板の欠陥の検出方法と試料の作製方法及び欠陥の観察方法
  Gazette classification：公開公報   Application number：特願平9-085625   Applicant：住友シチックス株式会社
• 表面観察方法
  Gazette classification：公開公報   Application number：特願平4-156072   Applicant：オリンパス光学工業株式会社
• 走査型プローブ顕微鏡
  Gazette classification：公開公報   Application number：特願平11-095909   Applicant：日本電子株式会社