Pat
J-GLOBAL ID:200903084637169127 走査型プローブ顕微鏡
Inventor: Applicant, Patent owner: Agent (1):
井島 藤治 (外1名)
Gazette classification:公開公報
Application number (International application number):1999095909
Publication number (International publication number):2000292337
Application date: Apr. 02, 1999
Publication date: Oct. 20, 2000
Summary:
【要約】【課題】 広い領域の像を比較的短時間に得ることができる走査トンネル顕微鏡等の走査型プローブ顕微鏡を実現する。【解決手段】 第1と第2の探針8,10を用いて試料1の所定領域を走査するようにしたので、同じ領域の走査時間を、探針が1本の従来装置に比べて半分とすることができる。また、従来と同じ走査時間では、2倍の走査領域の像信号を取得することができる。
Claim (excerpt):
試料と探針とを相対的に走査し、試料表面の像を得るようにした走査型プローブ顕微鏡において、探針を複数設け、それぞれの探針に対してZ方向の駆動機構を設け、各Z方向の駆動機構は共通のX-Y駆動機構に取り付けられていることを特徴とする走査型プローブ顕微鏡。
IPC (3):
G01N 13/12
, G01B 21/30
, G12B 1/00 601
FI (3):
G01N 37/00 B
, G01B 21/30 Z
, G12B 1/00 601 G
F-Term (19):
2F069AA54
, 2F069AA57
, 2F069AA60
, 2F069DD15
, 2F069DD20
, 2F069GG02
, 2F069GG06
, 2F069GG35
, 2F069GG52
, 2F069GG56
, 2F069GG63
, 2F069HH01
, 2F069JJ04
, 2F069LL03
, 2F069MM04
, 2F069MM11
, 2F069MM32
, 2F069PP02
, 2F069QQ05
Patent cited by the Patent: Cited by examiner (15) - 走査型探針装置
Gazette classification:公開公報
Application number:特願平10-334131
Applicant:日立電線株式会社
- カンチレバー型変位素子、及びこれを用いたカンチレバー型プローブ、及びこのカンチレバー型プローブを用いた走査型トンネル顕微鏡並びに情報処理装置
Gazette classification:公開公報
Application number:特願平4-103796
Applicant:キヤノン株式会社
-
特開平3-140805
-
特開平4-001948
-
特開平4-001949
-
特開平4-098102
- 粗動微動機構
Gazette classification:公開公報
Application number:特願平4-133494
Applicant:キヤノン株式会社
- 情報処理装置
Gazette classification:公開公報
Application number:特願平4-236095
Applicant:キヤノン株式会社
- 走査型トンネル顕微鏡
Gazette classification:公開公報
Application number:特願平4-312403
Applicant:キヤノン株式会社
- マルチプローブヘッド及びこれを具備する記録再生装置
Gazette classification:公開公報
Application number:特願平5-052550
Applicant:キヤノン株式会社
- プローブ顕微鏡装置および探針間距離測定方法
Gazette classification:公開公報
Application number:特願平5-283415
Applicant:日立建機株式会社
- 走査型プローブ顕微鏡
Gazette classification:公開公報
Application number:特願平9-110678
Applicant:株式会社島津製作所, 学校法人トヨタ学園
- 走査型プローブ顕微鏡
Gazette classification:公開公報
Application number:特願平10-256880
Applicant:セイコーインスツルメンツ株式会社
- 記録再生装置における面合わせ方法及び機構
Gazette classification:公開公報
Application number:特願平10-196623
Applicant:キヤノン株式会社
- 表面検査装置
Gazette classification:公開公報
Application number:特願平10-344127
Applicant:株式会社島津製作所, 株式会社東芝
Show all
Return to Previous Page