空間光変調素子、その製造方法及び投射型ディスプレイ

Inventor： , ,
Applicant, Patent owner：
Agent (1)：池内寛幸 (外1名)
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1994195222
Publication number (International publication number)：1995120779
Application date： Aug. 19, 1994
Publication date： May. 12, 1995
Summary：

【要約】【目的】光導電体層を屈折率の大きな層と屈折率の小さな層とにより構成することにより、高解像度で、かつ、高感度の空間光変調素子及びそれを用いた投射型ディスプレイを得る。【構成】ガラス基板101上に、透明導電性電極102と、整流性を有する光導電体層105とを順次積層する。光導電体層105の上に、反射層106と、液晶層117を配向する配向膜108とを順に配置する。これと透明導電性電極109及び配向膜110を積層した透明絶縁性基板111との間に0.5〜2μm厚の強誘電性液晶層117を挟み込む。光導電体層105を2層構造にし、書き込み光112が入射する側から順に屈折率の大きな層103と屈折率の小さな層104とを積層する。または、屈折率の小さな層116及び104とで屈折率の大きな層103を挟み込む。

Claim (excerpt)：

透明導電性電極を具備した2枚の透明絶縁性基板で挟まれた領域に、光導電体層と液晶層と、前記光導電体層と液晶層との間に反射鏡層を少なくとも備えた空間光変調素子において、前記光導電体層が、下方の透明絶縁性基板側から順次積層された第1の非晶質半導体層と第2の非晶質半導体層とを少なくとも備え、かつ前記第1と第2の非晶質半導体層の屈折率が互いに異なることを特徴とする空間光変調素子。

Patent cited by the Patent：

Cited by examiner (8)

特開平4-053928
特開平3-221924
空間光変調素子及びその製造方法
Gazette classification：公開公報 Application number：特願平3-344521 Applicant：松下電器産業株式会社

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