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J-GLOBAL ID:200903000696449126
キャパシタを備えた半導体素子及びその製造方法
Inventor:
,
,
,
Applicant, Patent owner:
Agent (1):
三枝 英二 (外10名)
Gazette classification:公開公報
Application number (International application number):2001204566
Publication number (International publication number):2002043541
Application date: Jul. 05, 2001
Publication date: Feb. 08, 2002
Summary:
【要約】【課題】 パッシべーション工程で発生する水素がキャパシタ内部に拡散されることを効果的に防止することのできる酸化アルミニウム膜からなる水素拡散防止膜を備えた半導体メモリ素子及びその製造方法を提供する。【解決手段】 本発明半導体素子は、半導体素子において、トランジスタと該トランジスタ周辺に形成される第1絶縁膜とからなる活性領域と、下部電極、該下部電極上に形成されたキャパシタ薄膜及び該キャパシタ薄膜上に形成された上部電極からなり、前記第1絶縁膜上に形成されたキャパシタ構造と、前記トランジスタ及び前記キャパシタ構造上に形成された第2絶縁膜と、該第2絶縁膜上に形成され、前記トランジスタと前記キャパシタ構造とを電気的に接続する金属配線と、前記金属配線上に形成された酸化アルミニウム膜からなる水素拡散防止膜とを含む。
Claim (excerpt):
半導体素子において、トランジスタと該トランジスタ周辺に形成される第1絶縁膜とからなる活性領域と、下部電極、該下部電極上に形成されたキャパシタ薄膜及び該キャパシタ薄膜上に形成された上部電極からなり、前記第1絶縁膜上に形成されたキャパシタ構造と、前記トランジスタ及び前記キャパシタ構造上に形成された第2絶縁膜と、該第2絶縁膜上に形成され、前記トランジスタと前記キャパシタ構造とを電気的に接続する金属配線と、該金属配線上に形成された酸化アルミニウム膜からなる水素拡散防止膜とを含んでなることを特徴とするキャパシタを備えた半導体素子。
IPC (3):
H01L 27/105
, H01L 21/8242
, H01L 27/108
FI (2):
H01L 27/10 444 B
, H01L 27/10 651
F-Term (10):
5F083GA25
, 5F083JA15
, 5F083JA17
, 5F083JA36
, 5F083JA39
, 5F083JA40
, 5F083JA56
, 5F083PR21
, 5F083PR22
, 5F083PR33
Patent cited by the Patent:
Cited by examiner (12)
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硬質セラミック材料等を用いた不活性化方法及び構造
Gazette classification:公開公報
Application number:特願平7-052145
Applicant:ラムトロンインターナショナルコーポレーション
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半導体装置及びその製造方法
Gazette classification:公開公報
Application number:特願平9-299789
Applicant:日本電気株式会社, シンメトリクスコーポレーション
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特開平2-069960
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特開平2-069960
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半導体装置及びその製造方法
Gazette classification:公開公報
Application number:特願平11-033691
Applicant:松下電子工業株式会社
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半導体装置、その製造方法及び層間絶縁膜の形成方法
Gazette classification:公開公報
Application number:特願平10-220175
Applicant:松下電器産業株式会社
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配線の構造およびその製造方法
Gazette classification:公開公報
Application number:特願平4-327908
Applicant:日本電気株式会社
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半導体記憶装置
Gazette classification:公開公報
Application number:特願平9-187477
Applicant:株式会社日立製作所, 株式会社日立超エル・エス・アイ・システムズ
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半導体装置の製造方法
Gazette classification:公開公報
Application number:特願平9-197110
Applicant:富士通株式会社
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特開平2-069960
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半導体メモリセルのキャパシタ構造及びその作製方法
Gazette classification:公開公報
Application number:特願平9-003059
Applicant:ソニー株式会社
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酸化ビスマスの生成方法、酸化物膜の形成方法、及び半導体素子のキャパシタ構造の作製方法
Gazette classification:公開公報
Application number:特願平8-255542
Applicant:ソニー株式会社
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